杏彩体育平台

您当前所在位置：杏彩体育平台 > 资讯信息 > 科研动态
晶圆级单晶六方氮化硼单层
发布时间：2020-09-03     作者：harry   分享到：
薄型二维半导体技术层状装修材料被判定可能**突出融合电路系统单晶体管的摩尔基本定律。日前二维半导体器件遭受的首要挑战是怎么样去 减少在附近电材质中构成电势散射和trap位点。越发非常多的研究方案表面，六方氮化硼（hBN）的电绝缘范德瓦尔斯层会作为**的介面介电性，还**降低正电荷散射。但是，如何快速在晶圆上保证靠谱的多晶硅六方氮化硼胶片植物生长就将成为工业园上必须要对其进行技术性革新的技术性突破点。
【成果简介】

台湾国立交通大学的Wen-Hao Chang、台积公司（TSMC）的Lain-Jong Li以及美国莱斯大学的B. I. Yakobson（共同通讯作者）等人联合发文报道了蓝宝石晶圆上成功外延生长单晶六方氮化硼单层。既往说法认定，六方氮化硼双层不能在高呈对称的铜（111）金屬表层体现单边滋生。既使，科学研究工作人员却遇外看到六方氮化硼与铜（111）横排无缝对接（lateral docking）以来，应该提高六方氮化硼的本质发展，并 保障了该本质发展是正向的。研发还察觉到，因此制法的单硫化锌六方氮化硼就能够集合到二硫化橡胶钼和二硫化铪之間最为表层层，就能够远远不断增强硫化锌管的电学耐磨性。该论述觉得，该可作于加工晶圆级单晶体六方氮化硼的方式方法为实现目标创新二维手机元器尊定了前提。2020年03月04日，相关成果以题为“Wafer-scale single-crystal hexagonal boron nitride monolayers on Cu (111)”的文章在线发表在Nature上。
【图文导读】

图1 蓝宝石基质上的铜（111）晶格取向

图2 单晶六方氮化硼的生长和原子结构

图3 DFT计算

图4 晶圆级六方氮化硼转移过程的示意图以及光学照片

文献链接：Wafer-scale single-crystal hexagonal boron nitride monolayers on Cu (111)（Nature, 2020, DOI: 10.1038/s41586-020-2009-2）