腐蚀锆(ZrO2) 原因ZrO2多晶硅体体需掺进钇(Y)以维持其框架，通常其实在使用的是YSZ多晶硅体体一下载钇维持剂(水分含量约19%)的腐蚀锆多晶硅体体。它机械性、耐腐蚀维持性好，价格多少较低而能才能很广操作。

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