X射线光电子能谱;X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)
X光谱线微电子子能谱;X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)产品的讲述X光学束微光学子能谱的枝术工艺(XPS)是光学材质与元器件封装显微具体阐述中的一类**具体阐述的枝术工艺,并且是和俄歇光学能谱的枝术工艺(AES)往往互相配合适用的具体阐述的枝术工艺。可能它就可以比俄歇光学能谱的枝术工艺更精准的地检测自动化层的外膜光学约束能和耐腐蚀位移,所有它不仅仅为耐腐蚀分折具备大原子核式空间形式和自动化层价态地方的讯息,还能为光学材质分折具备所有无机化合物的营养元素构造和成分、 耐腐蚀状态下、大原子核式空间形式、耐腐蚀键地方的讯息。它在具体阐述光学材质时,不仅仅可具备总体经济地方的耐腐蚀讯息,还能拿出单单从接触面、小地区和高度分布范围地方的讯息。 另,这是因为入喷到样板单单从接触面的X光学束束也是类电子束束,所有对样板的损伤性比较小,这一點对具体阐述有机的材质和高大原子核式材质比较影响。