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光电材料|β-FeSi2在脉冲激光沉积Si(100)衬底上的退火效应及红外光电响应
发布时间:2021-12-27     作者:光电材料   分享到:

微电子资料β-FeSi2是光电产品子层面中一项重要的的半导体器件硅化物。

这篇主要包括脉冲发生器脉冲光的堆积Fe贴膜的具体方法,在Si(100)衬底上分离纯化了β-FeSi2镁合金层,进而在800℃的真高空对其进行热渗碳。

退火温度的调整对样品的形貌、结构和光学性能有明显的影响。800°c退火后样品表面光滑,光学建筑材料β-FeSi2相结构良好。

采用所制备的光電建材β-FeSi2合金层作为光电转换层,在1319 nm波长下,红外探测器的响应率为1.8 mA/W,探测率为1.44 × 107 cm⋅Hz1/2 W−1。


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非常多推存

meso-四(对烷氧基苯基)卟啉钼配合物

加硫铅固载四(对-羧基苯基)铁卟啉催化剂的作用建材(FeTCPP/PbS)

cas:108443-61-4|四羧基苯基卟啉钴|TCPP-(Co2+)

原卟啉 IX 二甲酯,CAS号:5522-66-7


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